工业厂房监理：微电子洁净车间建造全流程管控

某半导体厂房十万级洁净车间监理要点： 

- 围护结构气密性：采用发烟法测试彩钢板接缝，漏风量≤0.02m³/(h·m²)； 

- 气流组织优化：通过CFD模拟调整高效过滤器布局，实测工作区风速均匀性≤±15%； 

- 静电防护体系：监督铺设防静电环氧地坪，表面电阻1×10?~1×10?Ω，离子风机平衡电压≤±10V； 

- 微振动控制：在设备基础设置空气弹簧隔振系统，振动速度≤0.05mm/s（设计限值0.1mm/s）。 

项目投产后，洁净度检测显示≥0.5μm粒子浓度≤3520个/m³，优于ISO 5级标准，良品率提升至99.99%。

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