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明珠监理|工业厂房设备基础监理:微米级精度保障方案

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发布日期:2025-05-02 09:33:19【

工业厂房设备基础监理:微米级精度保障方案

某半导体晶圆厂设备基础监理中,团队实施特殊管控: 

1. 沉降控制:采用CFG桩复合地基,静载试验验证承载力≥600kPa,后期沉降监测≤0.2mm/月; 

2. 预埋件定位:使用激光跟踪仪调整288组地脚螺栓,水平度误差≤0.3mm/m; 

3. 微振动控制:基础四周设置隔振沟,填充发泡混凝土,实测振动速度0.05mm/s优于设计0.1mm/s限值。 

项目投产后设备稼动率达99.8%,良品率提升15%,获业主授予"精密工程守护者"称号。

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